特种加工的分类还没有明确的规定，一般按能量来源和作用形式以及加工原理可分为下表所示的形式。
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加工方法 |
主要能量形式
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作用形式
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电火花加工
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电火花成形加工 |
电、热能 |
熔化、气化 |
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电火花线切割加工
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电、热能 |
熔化、气化 |
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电化学加工
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电解加工 |
电化学能 |
离子转移 |
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电铸加工
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电化学能 |
离子转移 |
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涂镀加工
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电化学能 |
离子转移 |
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高能束加工
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激光束加工 |
光、热能 |
熔化、气化 |
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电子束加工
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电、热能 |
熔化、气化 |
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离子束加工
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电、机械能 |
切蚀 |
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等离子弧加工
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电、热能 |
熔化、气化 |
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物料切蚀加工
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超声加工 |
声、机械能 |
切蚀 |
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磨料流加工
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机械能 |
切蚀 |
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液体喷射加工
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机械能 |
切蚀 |
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化学加工
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化学铣切加工 |
化学能 |
腐蚀 |
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照相制版加工
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化学、光能 |
腐蚀 |
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光刻加工
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光、化学能 |
光化学、腐蚀 |
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光电成形电镀
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光、化学能 |
光化学、腐蚀 |
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刻蚀加工
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化学能 |
腐蚀 |
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粘接
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化学能 |
化学键 |
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爆炸加工
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化学能、机械能 |
爆炸 |
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成形加工
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粉末冶金 |
热能、机械能 |
热压成形 |
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超塑成形
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机械能 |
超塑性 |
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快速成形
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热能、机械能 |
热熔化成形 |
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复合加工
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电化学电弧加工 |
电化学能 |
熔化、气化腐蚀 |
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电解电火花机械磨削
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电、热能 |
离子转移、熔化、切削 |
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电化学腐蚀加工
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电化学能、热能 |
熔化、气化腐蚀 |
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超声放电加工
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声、热、电能 |
熔化、切蚀 |
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复合电解加工
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电化学、机械能 |
切蚀 |
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复合切削加工
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机械、声、磁能 |
切削 |
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常用的特种加工方法有：电火花加工、电解加工、激光加工、电子束加工、离子束加工、等离子弧加工、超声加工、化学加工、快速成型等。
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